XP-703D半导体特气检漏仪|日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪产品特点：
检测对象气体：胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等
性能参数
* 最适合于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警
XP-703D半导体特气检漏仪|日本新宇宙XP-703D半导体特气检漏仪参数资料：
| 型号 | XP-703D |
| 检测对象气体 | 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） |
| 检测原理 | 热线型半导体式 |
| 采样方式 | 自动吸引式 |
| 可检测浓度 （单位：ppm） |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 |
| AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 | |
| 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 | |
| 检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
| 应答速度 | 10秒以内 |
